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半導体ロボット事業へのサービス

ウェハ搬送ロボット/液晶基板搬送ロボットの保守・点検からオーバーホールまで、出張・引取りを問わずお引受けいたします。

サービス内容
  • メンテナンス
  • 定期点検
  • 出張/引取修理
対象製品
  • 大気環境用ウェハ搬送ロボット
  • 真空環境用ウェハ搬送ロボット
  • 大気環境用液晶基板搬送ロボット
  • 真空環境用液晶基板搬送ロボット
受付先
大阪サービスセンター

〒658-0033 神戸市東灘区向洋町西4-1
TEL:078-275-2012
FAX:078-845-8256